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光刻材料与技术专业委员会

发布时间:2022年11月10日 来源:中国感光学会


一、简介
中国感光学会光刻材料与技术专业委员会成立于2022年10月19日,是中国感光学会最年轻的专业委员会之一,由全国科研院所和企事业单位从事光刻材料和光刻技术工作的重要科研人员、管理人员和工程技术人员组成。光刻材料与技术专业委员会挂靠单位为中国科学院化学研究所。
光刻材料与技术专业委员会涉及的学术和技术领域横跨物理、化学、材料、信息等多个学科专业方向,是国内聚焦光刻相关材料与技术应用的专业学术团体,具有独特的学术方向和特色,旨在加强在光刻材料与技术研究同应用领域的学术交流,促进我国相关材料和技术的发展,加快解决我国半导体产业中关键光刻材料与核心技术问题,促进我国半导体制造业的材料安全和发展。专业委员会成员中聚集了国内在光刻材料和技术领域的研究、研发和产业力量,将通过专业委员的平台加强学术交流和技术合作,拓展光刻材料与技术的应用领域,促进相关领域中科技成果的转移转化。


二、组织机构成员
顾问:洪啸吟    陈宝钦    彭孝军
主任:杨国强
副主任: 韦亚一    孟永钢    康    劲    姚树歆    李    嫕
秘书长:陈金平
副秘书长:郭旭东
委员(以姓氏笔画为序): 

于天君 马    旭 马昌期 王力元 王元元 王双青 毛国平 邓    海
伍广朋 许从应 许    箭 孙凤霞 李艳秋 吴衍青 张    丹 罗    锋
季生象 金    明 郑金红 赵英博 赵    俊 胡    睿 段辉高 聂    俊
徐    宏 曹耀宇 康文兵 董凤良 曾    毅 熊诗圣 薛超凡 魏劲松


三、专业委员会成员的科研与技术领域
光刻材料及技术专业委员会成员在光刻过程中的化学、物理变化领域开展工作,并以此为基础发展相关的材料、工艺和应用;交叉融合了有机化学、高分子化学、光化学、光物理、界面化学、化学工程、微纳加工技术等诸多学科;涉及到在芯片制造业和其他半导体产业中广泛使用的各类光刻胶、特殊溶剂、特殊涂层材料、显影液、清洗液、剥离剂、清除剂以及其他电子化学品,并对光刻材料与技术领域中的基础科学与前沿技术开展研究、研发工作。


四、主要任务
光刻材料与技术专业委员会秉承感光学会的精神和职责,着重在涉及光刻材料与技术相关的领域开展综合交叉学术交流,组织专题研讨,促进光刻材料与光刻技术的发展和应用;加强同国内外光刻材料与技术的研究机构与企业、从业人员的联络和合作,围绕我国芯片制造和半导体产业发展的关键核心技术问题和战略问题开展交流和研讨,组织科技工作者为国家战略需求和产业发展献计献策;接受委托,进行相关行业和产业科研项目的咨询服务等。


五、联系方式
联系人:陈金平;郭旭东
电话:13439174460;15652240904
E-mail: chenjp@mail.ipc.ac.cn; scoopguo@iccas.ac.cn